壓電比例閥利用壓電元件與半導體傳感器，通過 對電氣比例信號的調(diào)節(jié)，可高精度、高響應、無 噪音的對氣體的壓力與流量進行無級控制。 壓電比例閥利用壓電元件與半導體傳感器，通過 對電氣比例信號的調(diào)節(jié)，可高精度、高響應、無 噪音的對氣體的壓力與流量進行

特征

FEATURES

1、高精度氣體控制

2、低溫漂特性

3、反應靈敏，響應時間在0.7s以內(nèi)

4、不限定氣體種類(采用流量轉(zhuǎn)換系數(shù)，以N2校準為基準、可對應各種氣體)

5、高精度特氣測控技術(shù)

6、安裝方向任意(可自由安裝)

原理圖如下：

選型目錄：

元級控制。